CCD在光学器件表面疵病度测量中的应用

• 作者: 张睿彬 李娜
• 来源期刊: 光盘技术
• 学科: 工学
• 关键词: CCD 光学 疵病度 非接触
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 计算技术与自动化
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TH741
• 字数: 1498字
• 语种: 中文

摘要

CCD(Charged Coupled Device)具有体积小、重量轻、可靠性高等特点.通过CCD,可以实现光电转换、信号储存转移(传输)、处理等一系列功能.表面疵病对于硅片、光盘、光学器件的表面质量产生很大影响,CCD作为一种非常有效的非接触检测方法,具有无损伤、高精度、高速度的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜		6	5	2.0	2.0
2	张睿彬		14	58	3.0	7.0