工序能力分析中的Pearson分布拟合

• 作者: 张宝军 王少熙 贾新章
• 来源期刊: 电子质量
• 学科: 工学
• 关键词: 皮尔逊分布 拟合 中心矩 原点矩 工序能力
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 理论与实践
• 页码范围: 31-34
• 页数: 4页
• 分类号: TM13
• 字数: 3000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-0107.2007.02.011

摘要

为满足现代微电路生产工艺线工艺水平评价需要,在对三类典型皮尔逊分布的中心矩与原点矩进行分析研究的基础上,推导了针对该分布的拟合表达式,得到了相应分布类型的参数,并给出分布拟合算法.并且对实际微电路工艺的应用结果表明,拟合结果令人满意.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾新章	西安电子科技大学微电子学院	63	572	14.0	20.0
2	王少熙		3	6	1.0	2.0
3	张宝军	西安电子科技大学微电子学院	3	7	2.0	2.0