旋转式硅微机械陀螺的研究

• 作者: 江世宇 王宏伟 腾功清 齐臣杰
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 旋转 微机械 陀螺 角速度
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 270-274,303
• 页数: 6页
• 分类号: U666.123
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.086

摘要

分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性.对制作的陀螺进行性能测试的结果表明,该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动,从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确,并且理论和试验都说明,当载体自旋角速度不同时,陀螺输出信号的比例系数也不同.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宏伟	北京信息科技大学理学院	48	134	6.0	10.0
2	腾功清	北京信息科技大学理学院	4	3	1.0	1.0
3	齐臣杰	北京信息科技大学理学院	14	37	3.0	6.0
4	江世宇	北京信息科技大学理学院	5	4	1.0	2.0