气压式管道清洗法

• 作者: 康建兵 韩清明
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 气压式 管道清洗 旋风式分离器 真空泵
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 新技术应用
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2079字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.07.017

摘要

在电子工业领域中,曝光显影是生产过程中的重要工序,显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节.由于各类显影废液中含有多种化学成分,经常在传送过程中附着在管壁上,并造成流量下降乃至管道堵塞.根据具体使用情况,介绍了由上海松下等离子显示器有限公司新近推出的一套气压式管道清洗系统,该系统丰富了工业领域的管道清洗方法,尤其适用于清洗电子工业领域的显影液废液的处理及排放管道.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	康建兵		2	1	1.0	1.0
2	韩清明		2	0	0.0	0.0