CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系

• 作者: 刘宏伟 罗承萍 邱万奇 陈灵 黄元盛
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 化学
• 关键词: 金刚石 晶体形态 界面位向
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 材料综述
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: O6
• 字数: 2495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-023X.2007.01.008

摘要

综述了CVD金刚石的晶体形态及界面位向关系.用SEM观察CVD金刚石晶粒形态主要有立方体、长方体、八面体、立方八面体、孪晶八面体、十面体和二十面体颗粒以及球形金刚石,讨论了晶粒的形成条件.用TEM观察则主要有单晶体、孪晶八面体和五重孪晶体形态.界面位向关系主要有:Si(001)//Diamond(001),Si<110>//Diamond<110(50078018);Si(111)//Diamond(111),Si<110>//Diamond<110>和Si(110)//Diamond(110),Si[110]//Diamond[111].

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈灵	华南理工大学机械工程学院	29	99	6.0	8.0
2	邱万奇	华南理工大学机械工程学院	67	339	9.0	15.0
3	罗承萍	华南理工大学机械工程学院	80	1286	19.0	33.0
4	黄元盛	韶关学院机电系	12	44	3.0	6.0
5	刘宏伟	广西大学机械工程学院	8	35	4.0	5.0