硅基压电悬臂梁式微麦克风的设计与优化

• 作者: 任天令 刘理天 方华军
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微麦克风 PZT 压电悬臂梁
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 210-212
• 页数: 3页
• 分类号: TN641
• 字数: 1782字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.067

摘要

设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风.这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	方华军	清华大学微电子学研究所	11	77	4.0	8.0