硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计

• 作者: 任天令 刘理天 方华军
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 压电多层膜 悬臂梁 微执行器
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳设计
• 页码范围: 1330-1332,1336
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 1323字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.005

摘要

利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行了模拟和分析.分析获得了各层薄膜结构参数与微执行器偏转位移的关系.根据此分析结果,进一步优化了压电悬臂梁型微执行器的设计,并给出了优化的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘理天	清华大学微电子学研究所	230	1519	19.0	23.0
2	任天令	清华大学微电子学研究所	87	600	13.0	19.0
3	方华军	清华大学微电子学研究所	11	77	4.0	8.0