飞秒激光沉积β-FeSi2/Si半导体膜及光学性能研究

• 作者: 周幼华 杨义发 杨光 郑启光 陆培祥
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: β-FeSi2 飞秒 脉冲激光沉积法(PLD) 光致发光
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 545-549
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2560字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.03.034

摘要

采用飞秒脉冲激光沉积法在Si(100)和Si(111)单晶基片上制备了均匀的单相β-FeSi2薄膜;用X射线衍射(XRD),场扫描电镜(FESEM),能谱仪(EDX),傅立叶红外拉曼谱仪(FTRIS)研究了薄膜的结构、组分、表面形貌和光学性能.观察到了β-FeSi2在Si单晶基片上的生长与晶面取向有关的证据,并在室温(20℃)下观测到β-FeSi2薄膜的光致发光,其发光波长为1.53μm;在氩离子514nm激光的激发下,在192.0和243.9cm-1等位置观察到β-FeSi2的拉曼散射峰.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑启光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	32	305	10.0	15.0
2	陆培祥	华中科技大学激光技术国家重点实验室	44	232	9.0	12.0
3	杨光	华中科技大学激光技术国家重点实验室	50	460	11.0	20.0
4	周幼华	华中科技大学激光技术国家重点实验室	12	68	6.0	7.0
8	杨义发	华中科技大学激光技术国家重点实验室	3	15	3.0	3.0