一种硅梁谐振加速度计结构设计与模拟分析

• 作者: 毋正伟 王军波 陈健 陈德勇 陈李
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振加速度计 微杠杠结构 差分输出
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 物理量传感器
• 页码范围: 282-284
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.12|TH824.4
• 字数: 1961字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.089

摘要

为了提高谐振加速度计的灵敏度以及稳定性,提出一种基于微杠杆力学放大机构的硅梁谐振式加速度计结构,并对其进行了有限元模拟分析.该加速度计由两个静电激励电容检测的硅谐振梁组成差分输出,采用硅深刻蚀以及硅玻璃阳极键合等体硅工艺制作.模拟结果表明新结构提高了加速度计灵敏度,有效改善了交叉灵敏度、线性度、温度稳定性等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈健	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	115	1360	17.0	34.0
2	陈德勇	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	48	348	11.0	16.0
3	王军波	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	41	304	10.0	16.0
4	毋正伟	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	7	79	4.0	7.0
5	陈李	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	38	3.0	5.0