基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

• 作者: 刘长春 崔大付 李玉台
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微型色谱柱 气相色谱 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 生物化学传感器
• 页码范围: 407-409,416
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2259字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.07.127

摘要

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex 7740玻璃进行键合密封.色谱柱全长6 m,色谱通道截面为矩形(宽100 μm,深100 μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付		20	206	9.0	13.0
2	刘长春		5	77	4.0	5.0
3	李玉台		1	4	1.0	1.0