MEMS平面微弹簧刚度分析

• 作者: 李华 石庚辰
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 平面微弹簧 卡氏第二定理 弹性常数
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与测试方法
• 页码范围: 237-239
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.1
• 字数: 1676字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2007.02.038

摘要

对一种UV-LIGA工艺制备的封闭环"B型"微机电系统(MEMS)平面微弹簧建立了力学分析模型,运用能量法的卡氏第二定理,推导出了其在线性范围内的弹性常数计算公式.运用类似方法,推导出了开口"S型"MEMS平面微弹簧在线性范围内的弹性常数计算公式.在相同尺寸和材料特性条件下,对这两种平面微弹簧的刚度进行了对比研究,结果表明,闭环结构比开口结构的微弹簧刚度大.从力学的角度分析了其原因.对这两种平面微弹簧进行了力学拉伸实验,实验结果与公式计算结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李华	北京理工大学机电工程学院	14	138	6.0	11.0
2	石庚辰	北京理工大学机电工程学院	54	627	15.0	23.0