980 nm高功率VCSEL的光束质量

• 作者: 刘云 套格套 孙艳芳 宁永强 崔大复 崔锦江 李特 王立军 秦莉 许祖彦 郝二娟
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 垂直腔面发射激光器 光束质量因子 远场发散角 注入电流 高功率
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 641-645
• 页数: 5页
• 分类号: TN248.4
• 字数: 2663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.05.006

摘要

利用CCD成像技术,设计出一种简单的测量垂直腔面发射激光器(VCSEL)的光束质量因子M2的方法.在注入电流分别为900 mA,1500 mA,3000 mA和6000 mA时,对出光孔径300μm,激射波长为980 nm的垂直腔底面发射激光器的束腰等光束参数进行了测量,并应用激光光束传播的高斯方程拟合求得了M2因子的值分别为66,58,44和53.另外,当注入电流为900 mA和3000 mA时,对器件的远场分布进行了分析并测得了器件的远场发散角,测量值与理论计算值吻合较好.