980nm高功率垂直腔面发射激光器的理论分析

• 作者: 刘云 刘光裕 史晶晶 孙艳芳 宁永强 张云翼 张岩 张星 王立军 王贞福 秦莉
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 分布布拉格反射镜反射率
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 435-439
• 分类号: TN248.4
• 字数: 3411字
• 语种: 中文

摘要

理论分析了980nm高功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的器件特性与其分布布拉格反射镜(DBR)反射率的依赖关系,并计算了具有不同有源区直径的VCSEL的输出特性.分析了具有不同有源区直径的VCSEL在不同DBR反射率条件下的连续输出特性曲线,发现DBR反射率的改变会对有源区直径不同的VCSEL产生不同程度的影响.为了验证理论分析的结果,进行了器件测试实验.实验结果表明,有源区直径为500μm的VCSEL,当其N-DBR反射率分别为99.7%及99.2%时,在连续注入电流为6A时,其输出功率分别为2.01W和2.09W;而有源区直径为200μm的VCSEL,当N-DBR反射率为99.7%及99.2%时,连续注入电流为3A时,其输出功率分别为0.64W及1.12W.器件测试结果有效验证了理论分析的结论.