微泵硅膜振动拾振传感器的设计

• 作者: 温殿忠
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微泵 拾振传感器 温度补偿 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1249-1252
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.06.012

摘要

设计了一种微泵硅膜振动拾振传感器.该传感器采用了非对称基区梳状温度补偿晶体管,并提出了恰当设计SiO2膜和Al膜的厚度对零点温度漂移有极小值是非常重要的.实验结果表明,本文设计的微泵硅膜振动拾振传感器结构合理并且适合各种硅微泵、具有温度补偿功能,在-10℃-50℃的范围内,灵敏度的温度系数为0.2%.还具有灵敏度高、制造工艺相对简单、与MEMS工艺相兼容、使用寿命长的优点,有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温殿忠	黑龙江大学黑龙江省电子工程重点实验室	51	330	10.0	15.0