非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性

• 作者: 徐娓 王欣 贾辉 郑伟涛 龙北红
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 非晶氮化铁薄膜 动力学标度方法 热重新发射模型
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 页码范围: 2102-2105
• 页数: 4页
• 分类号: O643.1|O614|O484.5
• 字数: 2435字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2007.11.015

摘要

采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数 1/z=0.54±0.07. 薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑伟涛	吉林大学材料科学与工程学院汽车材料教育部重点实验室	48	245	8.0	13.0
2	徐娓	吉林大学化学学院无机合成与制备化学国家重点实验室	11	44	3.0	6.0
3	王欣	吉林大学材料科学与工程学院汽车材料教育部重点实验室	171	884	14.0	22.0
4	龙北红	吉林大学材料科学与工程学院汽车材料教育部重点实验室	10	185	6.0	10.0
5	贾辉	北华大学物理学院	6	5	1.0	2.0