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单晶硅晶圆晶向的精确标定方法
微机电系统
体硅工艺
晶向
晶圆表面缺陷在线检测研究
集成电路制造
晶圆表面缺陷检测
表面特征
主成分分析
贝叶斯概率模型
采用仿射迭代最近点的晶圆分割方法
晶圆分割
直线检测
形状配准
仿射迭代最近点
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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(/年)
文献信息
篇名 450mm晶圆何时出现?
来源期刊 半导体信息 学科 工学
关键词 摩尔定律 Silverman 资金投入 单位面积
年,卷(期) 2007,(5) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 17-17
页数 1页 分类号 TN405
字数 语种
DOI
五维指标
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引文网络
引文网络
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2007(0)
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研究主题发展历程
节点文献
摩尔定律
Silverman
资金投入
单位面积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
半导体信息
双月刊
16开
南京市1601信箱43分箱(南京市中山东
1990
chi
出版文献量(篇)
5953
总下载数(次)
11
总被引数(次)
664
论文1v1指导