激光直写法制备条形光波导中的功率密度阈值

• 作者: 刘家骏 曾晓雁 李爱魁 王泽敏 胡乾午
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 条形光波导 激光直写 溶胶凝胶法 激光功率密度阈值
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 765-770
• 页数: 6页
• 分类号: TN252|TN205
• 字数: 3679字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2007.06.007

摘要

采用溶胶-凝胶法(sol-gel)在Si基SiO2衬底上制备了SiO2-TiO2芯层薄膜,构成了以SiO2为下包层,空气为上包层的平面光波导.利用光纤激光器对平面波导的芯层进行直写,结合后续的化学腐蚀工艺得到了SiO2TiO2条形光波导,并着重研究了激光直写波导过程中存在的功率密度阈值以及阈值随薄膜预热处理温度的变化关系.研究结果表明,激光直写SiO2-TiO2波导存在起始收缩阈值和烧蚀损伤阈值;随着薄膜热处理温度的提高,两个阈值同时增大,其中损伤阈值的增大趋势要大于收缩阈值;因而薄膜可承受的直写光斑直径变小,所得波导宽度显著减小.最后对直写制得条形光波导的导光性能作了测试分析,验证了波导的三维导光性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曾晓雁	华中科技大学武汉光电国家实验室	144	2006	25.0	36.0
2	胡乾午	华中科技大学武汉光电国家实验室	31	662	16.0	25.0
3	李爱魁	华中科技大学武汉光电国家实验室	9	194	6.0	9.0
4	王泽敏	华中科技大学武汉光电国家实验室	23	293	10.0	17.0
5	刘家骏	华中科技大学武汉光电国家实验室	4	18	3.0	4.0