光学非球面检测平台伺服控制系统研究

• 作者: 刘建春 杨平 郭隐彪
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 检测 DSP 伺服电机 运动控制
• 年，卷（期）: 2007,（14）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 1639-1643
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 4711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2007.14.001

摘要

根据高精度非球面表面检测的要求,设计了一种用于微纳精度测量的光学非球面检测平台伺服控制系统.系统基于DSP芯片控制技术,采用Ti公司生产的TMS320F2812芯片为运动控制电路的核心;基于Windows操作平台和CCS2.0集成开发工具进行软件开发.系统设计的目的是实现平台的多轴运动控制及伺服运动控制系统的软硬件模块的扩展.通过试验和运动仿真对系统的稳定性和精度进行了分析,分析结果表明系统达到了较高的定位控制精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建春		34	87	5.0	6.0
2	郭隐彪		115	781	14.0	20.0
3	杨平		13	75	4.0	8.0