等离子体物理学-等离子体刻蚀工艺的物理基础

• 作者: 戴忠玲 毛明 王友年
• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体 刻蚀 电容耦合放电 电感耦合放电 双频 鞘层
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 7
• 页数: 1页
• 分类号: TN405.983
• 语种: 中文

摘要

介绍了等离子体刻蚀工艺背景以及有关等离子体刻蚀机理的研究进展,综述了等离子体刻蚀机理的研究方法,着重阐述了电容耦合放电和电感耦合放电等离子体物理特性,特别是双频电容耦合放电等离子体和等离子体鞘层研究中的关键问题.图8参19