一种无源无线SAW压力传感器结构设计

• 作者: 刘文辉 文玉梅 李平
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: SAW压力传感器 结构设计 差动式频率测量 灵敏度
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 770-773
• 页数: 4页
• 分类号: TN65
• 字数: 3161字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2007.04.013

摘要

根据无源无线SAW压力传感器的敏感特点,提出了一种具有较高灵敏度的压力传感器结构设计.传感器的受力敏感部分采用简支梁结构,通过分析找到梁的最大应变点,在梁的上下两侧最大应变区域中心对称分布了两个相同的单端口SAW谐振器.由两个SAW谐振器组成差动式测量结构,具有较高的灵敏度,并减少了温度对测量结果的影响,对迟滞效应带来的误差有一定的补偿作用.