一体化微操作器误差分析与建模

• 作者: 吴昭同 杨世锡 纪华伟
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微操作器 误差分析 柔性铰链 压电陶瓷
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 136-140
• 页数: 5页
• 分类号: TH7
• 字数: 3559字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2007.03.034

摘要

为评价各种误差对微操作器精度的影响,以一体化超精密微操作器为研究对象,分析了加工误差、机构原理误差、测量误差、环境带来的误差以及驱动误差等造成微操作器精度降低的因素,建立了加工误差的偏微分方程解析模型,并用有限元仿真验证了加工误差模型的准确性.在详细分析误差源的基础上,提出了提高微操作器精度的措施.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴昭同	浙江大学现代制造工程研究所	177	4029	36.0	52.0
2	杨世锡	浙江大学现代制造工程研究所	155	2860	30.0	48.0
3	纪华伟	浙江大学现代制造工程研究所	5	30	3.0	5.0