基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模与仿真

• 作者: 廖斌 张少君 朱守正
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微波等离子体源 微带环缝谐振器 品质因数
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 2512-2516
• 页数: 5页
• 分类号: TN015
• 字数: 3266字
• 语种: 中文

摘要

该文介绍了一种基于微带环缝谐振器的2.45GHz小功率微波等离子体源的建模方法.根据半波长终端开路谐振器的特性,通过选择合适的缝隙宽度和偏转角度、介质基片的介电常数等,使微带环缝谐振器的品质因数最大,同时与馈电端良好匹配.研究表明,实验结果与仿真结果基本吻合,这为小功率微型微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	廖斌	华东师范大学信息学院电子系	33	128	6.0	9.0
2	朱守正	华东师范大学信息学院电子系	59	225	8.0	12.0
3	张少君	华东师范大学信息学院电子系	3	10	2.0	3.0