长行程直线电机的迭代学习控制

• 作者: 周云飞 李介明 李鸿 石阳春 黄永红
• 来源期刊: 中国电机工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 工件台 直线电机 迭代学习控制 前馈补偿
• 年，卷（期）: 2007,（24）
• 所属期刊栏目: 电机电工
• 页码范围: 92-96
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3285字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-8013.2007.24.017

摘要

光刻机工件台在扫描曝光过程中要求纳米级的定位精度,采用长行程直线电机粗动加洛仑兹电机高精密微动补偿的6自由度复合运动系统能满足要求.为减小微动电机的运动范围和加速度,必须提高直线电机的轨迹跟踪精度.提出了一种开闭环D型迭代学习控制律改善永磁直线同步电动机(PMLSM)的轨迹跟踪性能.控制器由三部分组成:PID控制器用来提高系统对扰动和参数变化的鲁棒性;前馈补偿器可提高系统的实时跟踪性能;迭代学习控制器则通过执行重复任务来不断向理想的控制信号逼近.实验结果表明,这种控制方法可以有效提高系统的轨迹跟踪精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	140	2386	28.0	40.0
2	李鸿	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	9	136	6.0	9.0
3	黄永红		16	121	5.0	10.0
4	石阳春	华中科技大学国家数控系统工程技术研究中心	1	62	1.0	1.0
5	李介明		1	62	1.0	1.0