气-液-固法在半导体纳米线生长中的应用

• 作者: 彭英才 赵新为
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 气-液-固法 金属催化剂 纳米线与阵列 生长机制
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 864-870
• 页数: 7页
• 分类号: TN253
• 字数: 7260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.003

摘要

气-液-固法(VLS)是目前生长各种准一维纳米结构的主要工艺技术.本文首先介绍了VLS的生长原理,然后以生长机制为主线,着重评论了近3-5年内它在ZnO、GaN、Si以及SiC等纳米线及其阵列合成中应用的某些新进展.最后提出了改进VLS方法的几项措施,并展望了它的今后发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	彭英才	河北大学电子信息工程学院	103	593	12.0	19.0