TiO2薄膜的相变与光学性能

• 作者: 周明飞 孟凡明 宋学萍
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 二氧化钛薄膜 射频磁控溅射 退火 锐钛矿 金红石
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 198-205
• 页数: 8页
• 分类号: O484.1
• 字数: 4809字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0454-5648.2008.02.014

摘要

采用射频磁控溅射法在单晶硅片和石英玻璃片上沉积TiO2薄膜.通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱、紫外可见光谱和荧光发射光谱对薄膜的结构、相组成和表面形貌进行了表征.研究了退火温度对薄膜相结构、表面化学组成、形貌及光学性能的影响.结果表明:沉积的TiO2薄膜为无定形结构,经400℃以上退火后的薄膜出现锐钛矿相,600℃以上退火后的薄膜开始出现金红石相,1000℃以上退火的薄膜完全转变为金红石相.随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,仅在950～l000℃时出现减小,1 000℃退火的薄膜组成为TiOx.随着退火温度的升高,薄膜的透射率下降,折射率和消光系数有所增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋学萍	安徽大学物理与材料科学学院	63	367	10.0	14.0
5	孟凡明	安徽大学物理与材料科学学院	46	205	9.0	12.0
14	周明飞	安徽大学物理与材料科学学院	6	62	4.0	6.0