离子束辅助沉积碲化铅薄膜的AFM研究

• 作者: 熊玉卿 王多书 罗崇泰 马勉军
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜 离子束辅助沉积 碲化铅 薄膜
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 11-13,22
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 1794字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2008.01.003

摘要

利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(PbTe)薄膜的微观结构和表面形貌.结果表明,传统热蒸发方法制备的碲化铅薄膜呈现出明显的柱状结构,离子束轰击可以显著改变薄膜的微观结构,导致柱状结构的逐渐消失和晶粒的长大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马勉军	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	23	166	8.0	11.0
2	熊玉卿	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	16	147	8.0	11.0
3	罗崇泰	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	31	224	9.0	13.0
4	王多书	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	26	207	9.0	13.0