离子束辅助沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜的摩擦性能

• 作者: 邱维维 郭毓峰
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 离子束辅助沉积 复合薄膜 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: V2
• 字数: 1612字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2009.06.012

摘要

采用ZDH-100型号离子束复合沉积设备沉积WS_2-Ti-Ag复合薄膜,基材为轴承钢和单晶硅(100).采用场发射扫描电子显微镜、XRD衍射仪,检测复合薄膜的表面形貌、微观结构.采用球-盘式摩擦磨损试验机,对复合薄膜在大气环境中的摩擦性能进行了研究.结果表明:采用离子束辅助沉积技术制备的WS_2-Ti-Ag复合薄膜是非晶态薄膜;并且随法向载荷的增加,复合薄膜的摩擦因数减小,摩擦状态越稳定,耐磨寿命越短.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邱维维		6	19	3.0	4.0
2	郭毓峰		1	2	1.0	1.0