空气和氮气气氛中热处理温度对ITO薄膜性能影响

• 作者: 周炳卿 李力猛 潘洪涛 陈霞
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 掺锡氧化铟薄膜 x-射线衍射分析 方块电阻 透过率
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 21-24
• 页数: 4页
• 分类号: O437
• 字数: 3295字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2008.03.005

摘要

以InCl3·4H2O和SnCl4·5H2O为主要原料,采用溶胶-凝胶法和旋转涂膜工艺.在玻璃基片上制备掺锡氧化铟透明导电薄膜(ITO),采用x-射线粉末衍射、紫外-可见透射光谱和四探针技术,研究了在空气和氮气气氛中,不同热处理温度对IT0薄膜的微结构、光学和电学性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周炳卿	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	45	134	6.0	8.0
2	潘洪涛	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	3	12	3.0	3.0
3	李力猛	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	4	20	3.0	4.0
4	陈霞	内蒙古师范大学物理与电子信息学院	2	8	2.0	2.0