微控器件的MEMS结构仿真与纳米材料应用研究

• 作者: 李成诗 王伟明 纪江明 葛羽屏 郭方敏 顾晓清
• 来源期刊: 新技术新工艺
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械电子系统MEMS 微流控 有限元法 围堰结构 纳米多孔硅
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 热加工工艺技术与材料研究
• 页码范围: 86-88
• 页数: 3页
• 分类号: TN21|TH703
• 字数: 1958字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-5311.2008.07.028

摘要

对新型微纳流控结构进行了分析,对相关材料进行了改进设想,对引入纳米多孔材料加以性能改善进行了基础性研究,并给出了实体照片反映其生长机理;从功能理解角度对有限元分析软件之分析原理、分析进程、运行机理进行了分析,并给出了相关模拟结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王伟明	华东师范大学信息学院	4	14	3.0	3.0
2	郭方敏	华东师范大学信息学院	14	47	4.0	6.0
3	纪江明		17	59	5.0	6.0
4	李成诗	华东师范大学信息学院	6	68	3.0	6.0