一种用于微拉伸系统的MEMS弹簧设计与制作

• 作者: 丁桂甫 刘瑞 李雪萍 杨春生 汪红
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微弹簧 电铸 MEMS UV-LIGA
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 62-64
• 页数: 3页
• 分类号: TH135
• 字数: 2147字
• 语种: 中文

摘要

针对微拉伸测试系统支撑梁因塑性变形带来的误差,采用UV-LIGA技术制备出S型支撑弹簧来代替刚性梁,这样即可测量大变形薄膜的力学性能.实验结果表明,用UV-LIGA工艺制备的Ni金属S形弹簧具有良好的均匀性,在较大的变形范围内有很好的线弹性.