基于BF神经网络的半导体扩散炉温度控制建模

• 作者: 刘传清 胡荣玉 蔡兵
• 来源期刊: 吉首大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体扩散炉 BF神经网络 网络模型
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理与信息工程科学
• 页码范围: 77-78,82
• 页数: 3页
• 分类号: TP273
• 字数: 1224字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2985.2008.02.021

摘要

针对半导体扩散炉温度控制融合问题,提出了3-9-3结构的BF神经网络控制方法.建模表明:BF网络数学模型具有良好的控制品质和实用、高效等特点.