静电悬浮转子微陀螺高努森数下的空气阻尼力矩

• 作者: 崔峰 张卫平 王立奇 陈文元 马高印
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 静电悬浮 微陀螺 旋转 阻尼力矩 DSMC
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 1362-1365
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5
• 字数: 2696字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.08.014

摘要

针对工作于高真空密封腔中的静电悬浮MEMS陀螺微转子,为建立其旋转动力学模型,实现高精度恒速旋转控制,需要得到高努森数条件下的空气阻尼力矩特性.结合复杂结构的轮状扁平微转子,根据分子动理论和Christian模型,推导出压膜阻尼力矩特性;根据稀薄气体动力学,在考虑腔室内壁和转子表面具有不同切向动量适应系数的条件下,推导出滑膜阻尼力矩解析公式.以根据腔内空气流动特征进行的分区直接蒙特卡罗模拟(DSMC)结果为参考,总阻尼力矩系数的解析误差约为16%,表明解析模型具有较好的精度,对于高努森数条件下类似微器件的建模和系统设计具有较高的实用价值.