静电悬浮转子微陀螺悬浮控制系统的研究

• 作者: 崔峰 张卫平 李胜勇 肖奇军 陈文元
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电悬浮控制 微陀螺 反馈线性化 变预载控制
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理
• 页码范围: 346-349
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|O318
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.040

摘要

针对一种新颖的基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,提出了悬浮控制系统的原理和设计,并着重对z轴悬浮控制系统的设计进行了分析,建立了Z轴方向悬浮控制系统的数学模型,通过分析扰动力对转子位移的影响,得出PID(比例-积分-微分控制)参数决定动态刚度,通过仿真结果可以看出,采用反馈线性化可补偿系统的负刚度特性,结合变预载控制实现转子的快速准确定位,为后续的旋转和加矩控制提供良好的条件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖奇军	上海交通大学微纳科学技术研究院	7	22	2.0	4.0
3	崔峰	上海交通大学微纳科学技术研究院	14	38	4.0	5.0
4	陈文元	上海交通大学微纳科学技术研究院	56	274	10.0	14.0
5	张卫平	上海交通大学微纳科学技术研究院	57	414	10.0	19.0
6	李胜勇	上海交通大学微纳科学技术研究院	12	44	3.0	6.0