电弧离子镀多层Ti/TiN厚膜组织和力学性能研究

• 作者: 任妮 武生虎 肖更竭 赵栋才 马占吉
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀技术 Ti/TiN多层膜 附着力 硬度
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TH140
• 字数: 2663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2008.03.006

摘要

采用电弧离子镀技术在钛合金(Ti6Al4V)上制备了Ti/TiN/┄/Ti/TiN多层厚膜,膜层厚度为21.6 μm～25.6 μm,对不同Ti/TiN调制周期的多层膜物相、形貌、附着力和硬度进行了分析.结果表明:随膜层中Ti比例增加,膜层附着力增加,但膜层维氏硬度变化不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任妮	兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室	13	164	8.0	12.0
2	马占吉	兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室	10	130	7.0	10.0
3	武生虎	兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室	9	95	7.0	9.0
4	肖更竭	兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室	9	95	7.0	9.0
5	赵栋才	兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室	7	97	6.0	7.0