MEMS压阻加速度传感器阻尼特性研究

• 作者: 何洪涛 卞玉民 郑锋
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微电机系统 压阻 加速度传感器 阻尼 圆片级封装
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 466-469,479
• 页数: 5页
• 分类号: TH703|TP212.1
• 字数: 2283字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.08.008

摘要

研究了空气阻尼对MEMS压阻加速度传感器性能的影响,建立了传感器动力学模型和空气阻尼模型,分析了空气间隙大小与传感器阻尼系数的相互关系,通过控制空气间隙可以达到控制加速度传感器阻尼的目的.根据分析结果设计了三明治结构封装的传感器,应用有限元仿真软件,对传感器的应力和应变进行了仿真计算,完成传感器结构参数设计;采用MEMS体硅加工工艺和圆片级封装工艺,制作了MEMS压阻加速度传感器.测试结果表明,采用三明治结构封装形式,可以控制压阻加速度传感器的阻尼特性,为提高传感器性能提供了途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卞玉民	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	38	3.0	5.0
2	何洪涛	中国电子科技集团公司第十三研究所	9	53	4.0	7.0
3	郑锋	中国电子科技集团公司第十三研究所	3	22	2.0	3.0