尺蠖型压电驱动器的闭环控制

• 作者: 吴博达 张志宇 杨志刚 程光明 范尊强 赵宏伟
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 尺蠖运动 精密定位 闭环控制
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机密
• 页码范围: 1727-1731
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 3382字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.09.028

摘要

针对尺蠖型压电驱动器的输出特性,提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线,逐步"搜索"驱动电压值,从而逼近目标位置的闭环控制方法.分析了控制方法的可行性,针对该方法,构建了闭环控制实验系统,对该方法进行了实验验证.实验结果表明,采用该方法可以实现对尺蠖型压电驱动器的闭环精确控制,系统闭环定位误差低于0.18μrad,定位精度比开环工作提高了14.4%.该方法具有控制精度较高、响应迅速、易于实现等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	程光明	吉林大学机械科学与工程学院	164	2317	26.0	37.0
3	吴博达	吉林大学机械科学与工程学院	60	830	17.0	25.0
4	赵宏伟	吉林大学机械科学与工程学院	212	1233	19.0	27.0
5	范尊强	吉林大学机械科学与工程学院	14	103	5.0	10.0
6	张志宇	吉林大学机械科学与工程学院	4	39	4.0	4.0