传统卤化银感光材料的生产工艺与集成电路制造工艺比较研究

• 作者: 李智 段培成 赵艳艳 马望京
• 来源期刊: 影像技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 卤化银 集成电路
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TQ574|TQ577.3+5
• 字数: 1218字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0270.2008.04.003

摘要

本文通过对传统卤化银感光材料的生产工艺中显影加工工序和集成电路制造工艺中光刻工序的比较研究,表明二者在工艺上具有某些相似点,相互之间可以借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段培成	中国科学院理化技术研究所	8	15	2.0	3.0
2	马望京	中国科学院理化技术研究所	24	30	3.0	3.0
3	赵艳艳	中国科学院理化技术研究所	6	29	1.0	5.0
4	李智	中国科学院理化技术研究所	31	240	8.0	15.0