掺铜对DLC膜力学性能影响研究

• 作者: 任妮 武生虎 肖更竭 赵栋才 邱家稳 马占吉
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石膜 掺铜 应力 硬度
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 38-42
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 2000字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1007-9289.2008.05.007

摘要

利用纯铜靶作脉冲阴极,并改变碳阴极的数量或在铜靶前设置栅网调节DLC膜中铜含量,制备了不同铜含量的几组样品.研究发现,随着铜含量的增加,薄膜的硬度和应力下降;但当铜原子百分比含量大于6.3%时,薄膜的硬度和应力基本保持不变.摩擦因数随着铜含量的增加,一直缓慢增加,并且磨损量也慢慢增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任妮	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	13	164	8.0	12.0
2	马占吉	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	10	130	7.0	10.0
3	武生虎	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	9	95	7.0	9.0
4	肖更竭	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	9	95	7.0	9.0
5	邱家稳	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	44	477	14.0	20.0
6	赵栋才	兰州物理研究所表面工程技术国家重点实验室	7	97	6.0	7.0