X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器

• 作者: 李冬梅 李晶晶 柯导明 牛洁斌 贾锐 赵以贵 陈军宁
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波器件 叉指换能器 X射线光刻 电子束光刻 剥离
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 光子束技术
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2808字
• 语种: 中文

摘要

提供了采用电子束光刻、X射线光刻和金属剥离技术制作亚微米尺寸的声表面波叉指换能器的方法.首先利用电子束光刻和微电镀技术制作x射线光刻的掩模,然后利用X射线光刻和剥离技术高效地制作大面积、纳米尺电、电极陡直均匀的叉指换能器.制备出的叉指电极特征尺寸为600 nm,面积为4 mm×6 mm,断指率小于3‰,可应用于高频声表面波器件中.研究结果表明,X射线光刻结合剥离技术是一种制备高频SAW器件的优良方法.