微纳米复合金刚石自支撑膜的制备及微观结构的研究

• 作者: 佟玉梅 唐伟忠 宋建华 李彬 李成明 薛前进 陈广超 黄玲 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 自支撑金刚石膜 多层结构 微观结构 聚焦离子束(FIB)
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 446-449
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1793字
• 语种: 中文

摘要

在30 kW级直流电弧等离子喷射化学气相沉积装置下,采用Ar-H2-CH4混合气体,通过控制工艺参数,在多晶钼衬底上制备了微纳米复合多层金刚石自支撑膜.采用拉曼光谱对其进行成份分析、SEM观察膜体表面形貌,采用聚焦离子束(FIB)技术对其进行原位刻蚀,用高分辨电镜观察对其进行微观表征.结果显示,同普通微米膜相比,多层膜体是由微米晶金刚石层和纳米晶金刚石层组成,表面光滑,微米层与纳米层间具有相互嵌套式的界面,微/纳米复合多层金刚石自支撑膜中包含有纳米级金刚石晶粒、微米级金刚石晶粒和无定形碳.