微/纳米复合多层金刚石自支撑膜的制备及应力研究

• 作者: Askari J. 佟玉梅 兰昊 吕反修 唐伟忠 宋建华 戴风伟 李彬 李成明 陈广超 黑立富
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直流电弧等离子喷射化学气相沉积 自支撑金刚石膜 多层结构 内应力
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 29-31,35
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 字数: 1693字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.03.008

摘要

利用大功率DC Arc Plasma Jet CVD装置,采用Ar-H2-CH4混合气体为气源,通过优化工艺参数,在多晶钼衬底上制备出了多层复合金刚石自支撑膜.利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼谱(Raman)对膜体进行表征,结果显示,多层膜体的组织结构体现了微米金刚石与纳米金刚石的典型特征;复合金刚石自支撑膜具有光滑的表面,微米层与纳米层间呈相互嵌套式的界面;此外,利用激光拉曼谱分析了多层膜中的内应力状态,研究发现,多层膜中各层膜体具有不同的内应力状态,内应力沿膜体生长方向有明显变化,呈现出从压应力到拉应力的变化过程.