SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现

• 作者: 周新伟 徐春晓 房立清
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 高温 抗冲击 微加速度传感器 SOI
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 26-27,64
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 780字
• 语种: 中文

摘要

设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围.设计方案合理应用光刻、ICP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现.研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房立清	军械工程学院火炮工程系	48	240	7.0	13.0
2	周新伟	军械工程学院火炮工程系	5	21	2.0	4.0