改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进

• 作者: 单廷亮 温雅 胡仰栋
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 尾气分离 温焓图
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 化工计算
• 页码范围: 154-159
• 页数: 6页
• 分类号: TQ018
• 字数: 3225字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9533.2008.02.015

摘要

对改良西门子法多晶硅生产中尾气分离工艺进行了改进.应用 Aspen plus 软件,利用精馏、吸收和吸附等不同分离方法进行组合,确定了尾气的分离序列,得到了操作条件温和的4个流程方案.用温焓图进一步分析各流程方案,发现各流程进行热匹配的意义不大,但分离过程所需的冷凝温度为250 K,易于实现.通过对比流程设备、吸收剂加入量、主要设备的操作压力、需公用工程加热与冷却的负荷等参数,确定了尾气分离的最佳流程.该流程的操作条件温和,且分离效果较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡仰栋	中国海洋大学化学化工学院	116	724	13.0	20.0
2	单廷亮	中国海洋大学化学化工学院	4	43	3.0	4.0
3	温雅	中国海洋大学化学化工学院	3	39	2.0	3.0