基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真

• 作者: 丁桂甫 付世 杨卓青 蔡豪刚 赵小林
• 来源期刊: 功能材料与器件学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微型惯性开关 非硅表面微加工 设计 动力学仿真
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 629-633
• 页数: 5页
• 分类号: TH12
• 字数: 1870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-4252.2008.03.013

摘要

基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加.