改善背面金属粘附性的单片表面处理技术

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 背面金属粘附 单圆片湿法加工 选择性处理 背面金属化
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 封装工艺与设备
• 页码范围: 49-52
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 语种: 中文

摘要

对于超薄、分离的大功率半导体器件,其背面金属粘附以及焊料接点的要求近几年有了显著地提高.为了对硅片表面提供一种最佳化的背面金属粘附接触,需要指定一种定制的背面硅型、电阻率、掺杂层以及淀积金属或金属堆叠.这种表面很关键.以致在封装应力和加热情况下背面金属层不发生龟裂或剥落,并且引起成品率或性能损失.通过采用单圆片湿法加工和一种专一的近似化学作用一起对圆片背面有选择地处理,使不同的背面金属化处理实现了最佳化.