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螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
作者:
吴卫东
唐永建
孙卫国
朱永红
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体诊断
等离子体参数
射频调谐朗谬尔探针
螺旋波等离子体
摘要:
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量.运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较.结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012 cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa~4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致.
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篇名
螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
来源期刊
真空科学与技术学报
学科
物理学
关键词
等离子体诊断
等离子体参数
射频调谐朗谬尔探针
螺旋波等离子体
年,卷(期)
2008,(4)
所属期刊栏目
学术论文
研究方向
页码范围
308-312
页数
5页
分类号
O53
字数
2999字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
唐永建
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
281
2334
24.0
31.0
2
孙卫国
四川大学原子与分子物理研究所
92
400
11.0
16.0
3
吴卫东
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
140
1087
18.0
26.0
4
朱永红
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
4
52
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研究来源
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研究去脉
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真空科学与技术学报
主办单位:
中国真空学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1672-7126
CN:
11-5177/TB
开本:
大16开
出版地:
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
邮发代号:
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
4084
总下载数(次)
3
总被引数(次)
19905
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