螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究

• 作者: 吴卫东 唐永建 孙卫国 朱永红
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 308-312
• 页数: 5页
• 分类号: O53
• 字数: 2999字
• 语种: 中文

摘要

采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量.运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较.结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012 cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa～4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	孙卫国	四川大学原子与分子物理研究所	92	400	11.0	16.0
3	吴卫东	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	140	1087	18.0	26.0
4	朱永红	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	4	52	4.0	4.0