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摘要:
采用射频调谐朗缪尔单探针方法对螺旋波激发的氢等离子体I-V特性曲线进行了测量.运用Druyvestey方法对氢等离子体的电子能量分布(EEDF)及电子密度ne的变化规律进行了研究,并与发射光谱诊断结果进行了比较.结果表明:ne随着射频功率的增大成线性增大,本实验中最大值可达到1012 cm-3量级,电子平均能量E随着射频功率的增大逐渐升高,并逐渐达到饱和;ne随着工作气压的增加而增大并出现峰值,存在一个最佳气压范围(2 Pa~4 Pa)使ne达到最大,E则随着工作气压的增加逐渐减小;氢气流量对ne的影响非常小,当氢气流量达到一定值(12 sccm)后,ne几乎不变化,E随着氢气流量的增加逐渐降低,最后趋于稳定;朗缪尔单探针方法与发射光谱法诊断的结果基本一致.
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文献信息
篇名 螺旋波激发氢等离子体的电子温度及密度研究
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 物理学
关键词 等离子体诊断 等离子体参数 射频调谐朗谬尔探针 螺旋波等离子体
年,卷(期) 2008,(4) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 308-312
页数 5页 分类号 O53
字数 2999字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 唐永建 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 281 2334 24.0 31.0
2 孙卫国 四川大学原子与分子物理研究所 92 400 11.0 16.0
3 吴卫东 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 140 1087 18.0 26.0
4 朱永红 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 4 52 4.0 4.0
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真空科学与技术学报
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1672-7126
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大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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