高精度位移传感器动静态溯源和校准装置的研制

• 作者: 叶孝佑 杨国梁 王鹤岩 薛梓
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 位移传感器 动态校准 溯源 动态响应特性
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 精密测量技术
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: TB97
• 字数: 2517字
• 语种: 中文

摘要

介绍了高精度位移传感器的动、静态特性溯源和校准原理及其标准装置的结构组成,并对它进行了实验验证.该装置可根据位移传感器在实际测量中的使用状态以及幅频响应范围,生成相应幅频下的标准动态信号并产生标准振动,经过同步采集及频谱分析,可得到在不同频率下相对激光基准的幅相误差.其生成的标准动态信号量值可直接溯源到激光波长,并可对位移传感器实现0～30 μm下的任意间隔的线性校准和1～100 Hz下的动态校准,它还可用于在线传感器的动静态特性的校准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	薛梓		32	62	5.0	6.0
3	王鹤岩		16	43	5.0	6.0
4	杨国梁		13	38	4.0	6.0