基于串行通讯协议宏的MOCVD反应室压力控制

• 作者: 王建成 胡晓宇 邹春艳
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD PLC 串行通信 协议宏 闭环控制 编程
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造与设备
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1711字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.01.008

摘要

介绍了MKS压力控制系统的组成、651C控制器的通信命令参数、串行通信协议宏的构造方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡晓宇	中国电子科技集团公司第四十八研究所	13	56	4.0	7.0
2	王建成	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	7	1.0	2.0
3	邹春艳	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	4	1.0	2.0