光栅尺纳米测量技术研究及其发展

• 作者: 应仲阳 李桂华 闫如胜 马修水
• 来源期刊: 安徽电子信息职业技术学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光栅尺 纳米测量 光栅干涉
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术园地
• 页码范围: 70-71
• 页数: 2页
• 分类号: TN98
• 字数: 2790字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-802X.2008.01.029

摘要

介绍了光栅尺纳米测量技术的国内外研究现状,并对它们优劣进行了分析,在上述成果的基础上,得出一种以光栅栅距为测量基准,测量精度主要取决于光栅栅线的刻制精度的光栅干涉测量方法,它受光源光强和波长变化的影响很小,因此在工况条件下能够具有较好的测量精度和稳定性,符合大量程、高分辨力、动态等纳米测量技术的发展趋势,最后对此测量系统将实现样机仪器化、产业化进行了展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马修水	安徽大学测量与控制工程系	56	343	11.0	15.0
2	闫如胜	安徽大学测量与控制工程系	3	27	2.0	3.0
3	李桂华	安徽大学测量与控制工程系	52	313	11.0	16.0
4	应仲阳	安徽大学测量与控制工程系	2	26	2.0	2.0