TDR系列晶体生长设备速度跑合系统

• 作者: 田召
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 坩埚速度系统跑合 籽晶速度系统跑合 操作装置 检测报警装置 晶体生长设备
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 本期专题(前道制造技术)
• 页码范围: 15-17
• 页数: 3页
• 分类号: TN806.9
• 字数: 1704字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2008.02.005

摘要

主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点.本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求,提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田召	西安理工大学晶体生长设备研究所	2	4	1.0	2.0